改良西門(mén)子法是一種化學(xué)方法，主要由三氯氫硅與氫氣在1050℃～1150℃，一定壓力下進(jìn)行還原氣象沉積反應(yīng)生產(chǎn)高純多晶硅，該工藝一直是半導(dǎo)體行業(yè)電子級(jí)多晶硅生產(chǎn)最主要的工藝方法。其中，還原爐和氫化爐是改良西門(mén)子法生產(chǎn)多晶硅的核心設(shè)備，其運(yùn)行好壞直接影響多晶硅質(zhì)量及生產(chǎn)成本。還原爐和氫化爐為電耗較高的設(shè)備，一般企業(yè)為降低電耗及成本，大都釆取調(diào)整工藝參數(shù)、提供進(jìn)料溫度、提高冷卻水溫、清洗鐘罩等方法，其中鐘罩清洗對(duì)多晶硅生產(chǎn)非常重要，如果鐘罩清洗不干凈、光潔度不夠，常常會(huì)導(dǎo)致硅芯擊不穿或?qū)Ξa(chǎn)品質(zhì)量污染，因此擁有一套完善的多晶硅還原爐清洗系統(tǒng)對(duì)多晶硅生產(chǎn)廠家顯得尤為重要。

 

 

國(guó)內(nèi)多晶硅鐘罩清洗方式多種多樣，有高壓清洗、化學(xué)溶劑低壓清洗、機(jī)械拋光等，但大多釆用堿液中壓清洗。我們?cè)谑褂眠^(guò)程中發(fā)現(xiàn)這些清洗方式不能將鐘罩清洗干凈，不能滿足生產(chǎn)需求。為此，北京德高潔清潔設(shè)備有限公司經(jīng)過(guò)研發(fā)設(shè)計(jì)并制造出了多晶硅自動(dòng)化還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)。

 

 

多晶硅自動(dòng)化還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)是以高壓水射流為動(dòng)力的自驅(qū)動(dòng)三維旋轉(zhuǎn)噴頭形成360°的網(wǎng)狀高壓水柱噴射表面，從而完成鐘罩內(nèi)部表面的水力掃射，并采用專用清洗劑等為主要清洗液，先用純水(去離子水或叫脫鹽水)漂洗，之后再采用高純水沖洗，最終完成清洗過(guò)程。具體特點(diǎn)如下：

 

 

1、核心部件高壓泵采用進(jìn)口耐酸堿、耐高溫、全不銹鋼的加壓泵，清洗作業(yè)時(shí)三維旋轉(zhuǎn)噴頭可實(shí)現(xiàn)自驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)、自動(dòng)升降、全方位自動(dòng)清洗，并可保證多晶硅的純度；

 

2、利用多晶硅生產(chǎn)廠家的蒸汽余熱將清洗介質(zhì)加熱，從而改變?cè)�電加熱工藝�?/div>